適用于300mm*300mm、300mm*400mm以及其它定制化基板尺寸的鈣鈦礦涂布
配備高精密注射泵,可根據(jù)需求提供不同容積針管,注液精度達0.1ul/s
客戶定制化需求,設(shè)備可根據(jù)客戶加裝頂升機構(gòu)和自動卸料單元
X軸配置,直線電機+光柵尺+精密滾珠直線導軌,X軸定位精度優(yōu)于5um
Z軸配置,精密滾珠絲桿+直線導軌+微米級精度位移傳感器,Z軸定位精度優(yōu)于5um
潔凈外罩,配備專業(yè)潔凈外罩,可以控制涂布區(qū)域潔凈度100級
提供其它定制化需求
涂布厚度:最薄50納米